Główne cechy 12-calowego systemu kontroli płytek Olympus:
• Mocny, niezawodny i bezpieczny transport
12-calowy system kontroli płytek Olympus kontynuuje wytrzymałość, niezawodność i bezpieczeństwo poprzedniej generacji, zapewniając bezpieczne i niezawodne przenoszenie płytek 300 mm oraz płytek warped.
• Inżynieria robotyczna, łatwa obsługa
12-calowy system kontroli płytek Olympus może być swobodnie ustawiony w trybie kontroli, uwzględniając operacyjność w konstrukcji tylnej, zwracając szczególną uwagę na łatwość obsługi urządzenia. Dostępne są odpowiednio FOUP (Load Port) i FOSB.
12-calowy system kontroli płytek Olympus optymalizuje pozycję makro-obserwacji i centralne ułożenie jednostek operacyjnych, co poprawia funkcjonalność urządzenia.
Automatyczny system kontroli płytek 300 mm AL120-12 Specyfikacje techniczne
Numer modelu |
AL120-LMB12-LP |
AL120-LMB12-F |
Rozmiar płytki |
300 mm (SEMI M1.15 t = 775 μm) opcjonalnie: 200 mm |
|
Liczba kartonów |
Pojedyncze pudełko (kompatybilne z załadowaniem i demontażem) |
|
Wysokość zestawu |
900 mm |
|
Port załadowania |
Jest. |
Żaden |
Kolekcja przenoszenia |
Makro powierzchniowe, makro wewnętrzne, kontrola mikroskopowa |
|
Tryb sprawdzenia |
Wszystkie sprawdzenia, próbkowanie |
|
Kalibracja płytek |
Bezkontaktowe pierścienie centralne |
|
Sposób przenoszenia płytek |
Przenoszenie mechaniczne adsorpcji próżniowej |
|
Zastosowanie mikroskopu |
Mikroskop kontrolny półprzewodnikowy MX61L |
|
Środowisko aplikacji |
AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz , próżnia - 67 ~ 80 Kpa |
|
Stacja przewozowa |
XY ręcznie przymocowane nośnik, z XY grubości / fine-tuning i 360 stopni mechanizm obrotowy |
|
Waga (z wyjątkiem mikroskopu) |
około 360 kg |
około 270 kg |
