Park przemys?owy Suzhou Huiguang Technology Co., Ltd.
Home>Produkty>System kontroli płytek serii AWL
System kontroli płytek serii AWL
Systemy kontroli płytek serii AWL zapewniają zarówno stabilność, jak i bezpieczeństwo, zapewniając bezpieczne i niezawodne przesyłanie płytek, które n
Szczegóły produktu

AWL 系列晶圆检查系统

AWL 系列晶圆检查系统的显微镜


Obecnie przenośniki płytek serii AWL mają dwa modele AWL046 i AWL068, odpowiednio do wykrywania płytek 4/6-calowych, wykrywania płytek 6/8-calowych, szeroki zakres adaptacji i elastyczny, wolny tryb kontroli, w pełni zgodny z projektowaniem ergonomicznym, wygodną i prostą obsługę.

serii AWLZalety systemu kontroli płytek

Kontrola makro 360°

360°宏观检查

System kontroli płytek z serii AWL posiada ramię makro-kontrolne, które umożliwia obrot o 360 ° makro-kontroli kryształu i makro-kontroli kryształu pleców 1, dzięki czemu łatwiej jest wykrywać blizny i drobne pyły. Za pośrednictwem pręta sterowania można dowolnie obserwować nachylenie płytek. Kąt nachylenia kryształu ≤ 70 °, kąt nachylenia kryształu 1 ≤ 90 °, kąt nachylenia kryształu 2 ≤ 160 °, przy użyciu funkcji obrotowej, kąt nachylenia, można w pełni wizualnie sprawdzić całą pozytywną i odwrotną stronę płytki i krawędzie.

• Inżynieria robotyczna

晶圆检查系统的LCD显示屏

Wyświetlacz LCD systemu kontroli płytek może zapewnić operatorowi bardziej intuicyjne doświadczenie wizualne, jasne wyświetlanie bieżących elementów i kolejności kontroli, parametry debugowania na jeden rzut oka.

Ręczne szybkie uwolnianie nośnika próżniowego z systemem kontroli płytek zwiększa komfort i wydajność operatora.

Przypadek zastosowania kontroli wad płytek

晶圆缺陷检查

晶圆缺陷检查

Seria AWLSpecyfikacja techniczna systemu kontroli płytek

Numer modelu

AWL046

AWL068

Rozmiary płytek (specyfikacja SEMI)

150mm/125mm/100mm

200mm/150mm

Minimalna grubość płytek

150μm

180μm

Typ

Skrzynka otwarta (SEMI Stad.25(26)-slot)

Liczba pudełek

1 Port

Sprawdź ustawienia trybu

Kontrola pełna / Kontrola liczb niepełnych / Kontrola liczb parnych / Wybór ręczny

Skanowanie płytek wewnątrz pudełka

Prepozycjonowanie płytek

Lokalizacja płytek

Pozycjonowanie bezkontaktowe płaskie gniazdo typu /V z możliwością ustawienia kierunku 0°, 90°, 180°, 270°

Sprawdź funkcje

Kontrola mikroskopowa

Kontrola makro kryształu

Kontrola makro kryształu 1

Kontrola makro kryształu 2

Dostosowanie do mikroskopu

SOPTOPMikroskop złotyMX68R

Stacja przewozowa

6-calowa czterowarstwowa platforma ruchoma mechaniczna, niska pozycja X, Y regulacja współosi; Podłoże płytkowe, można obracać o 360°; Przebieg ruchu 228 mm (kierunek X) × 170 mm (kierunek Y) Zakres obserwacji:
170mmX170mm ; z uchwytem sprzęgła, do szybkiego poruszania się w całym zakresie przebiegu;

8-calowa czterowarstwowa platforma ruchoma mechaniczna, niska pozycja X, Y regulacja współosi; Łożysko płytkowe, obrotowne o 360 °, zakres obserwacji ruchu 280 mm (kierunek X) x 210 mm (kierunek Y):
210mm×210mm ; Z uchwytem sprzęgła, do szybkiego poruszania się w całym zakresie przebiegu;

Zasilanie

1P/220V/16A

Źródło próżni

—70KPA

Zapytanie online
  • Kontakty
  • Firma
  • Telefon
  • E-mail
  • WeChat
  • Kod weryfikacji
  • Zawartość wiadomości

Udana operacja!

Udana operacja!

Udana operacja!